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Atmospheric Robot
Transfer Module
Vacuum Robot
Dual Arm Vacuum Robot
Compact Vacuum Robot
Quad Arm Vacuum Robot
SCARA Vacuum Robot
FEATURES
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7축 진공 로봇을 사용하여 높은 처리량 및 신뢰성 제공
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쿼드 암(4개의 웨이퍼 처리)
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개별 제어식 4개 암
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AWC 기능(자동 웨이퍼 센터링)
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UPEH : 250 웨이퍼/hr
SPECIFICATION