⊙ 유형 : 단일 암(3축) / 이중 암(4축) ⊙ 높은 처리량(스왑 시간) ⊙ 검증된 4-bar 링크 암 [고 청정] ⊙ 작은 회전 반경 ⊙ 높은 강성(Sag & Wawble )
⊙ AWC 기능(자동 웨이퍼 센터링)