Dual Arm Vacuum Robot

Compact Vacuum Robot

Quad Arm Vacuum Robot

SCARA Vacuum Robot

FEATURES
  ⊙ 유형 : 단일 암(3축) / 이중 암(4축)
  ⊙ 높은 처리량(스왑 시간)
  ⊙ 검증된 4-bar 링크 암 [고 청정 ]
  ⊙ 높은 강성(Sag & Wawble )
  ⊙ AWC 기능(자동 웨이퍼 센터링)
SPECIFICATION