FEATURES

  ⊙ 300mm 웨이퍼 이송 서비스.

  ⊙ 사용자 요구에 따른 맞춤 구성.
  ⊙ 인클로저 압력의 폐쇄 루프 제어
  ⊙ 현장 유지관리 서비스 가능
  ⊙ 세미 스탠다드 준수.
  ⊙ 간편한 레벨링 및 도킹

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SPECIFICATION