⊙ 신뢰성

       500,000 이상의 MCBF

       신뢰성 향상을 위한 공압 액추에이터

  ⊙ 간단한 설치

       볼트 위치 조정 메커니즘 적용

       셀프스텐딩 캐스터 적용, 높이 및 레벨 조정 용이

  ⊙ 유지 보수 용이

        전면에서 유지 보수 가능

        모듈식 부품 설계로 조립 및 분해 시간 단축

  ⊙ 호환성

        다양한 FOUP (Entegris, Shin-Etsu, Miraial) DP WJRDYD RKSMD

        LAN 과 RS232C 명령 제어

        200mm 웨이퍼 솔루션 (어댑터 옵션)

        RFID, E84 통신

  ⊙ N₂퍼지모듈

      N₂퍼지 FOUP 및 FDC

      N₂ 퍼지 레시피 가능