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EFEM
Atmospheric Robot
Transfer Module
Vacuum Robot
Dual Arm Robot
Dual SCARA Robot
PLP SCARA Robot
FEATURES
⊙
1급 클린룸 환경 준수
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양산라인에서 입증된 모션 컨트롤 기술로 가동 시간 극대화
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최적 구조 설계를 사용하여 최소 중량으로 높은 강성
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최대 5축까지 확장 가능 (@ 선형 축 추가 )
SPECIFICATION