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EFEM
Atmospheric Robot
Transfer Module
Vacuum Robot
Dual Arm Robot
Dual SCARA Robot
PLP SCARA Robot
FEATURES
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4축 SCARA 로봇
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고속 및 경로 정확도
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높은 패널 정렬 정확도 ±1.0mm
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패널 크기 최대 600x600mm까지 특허 출원 중인 패널 정렬 알고리즘
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뒤틀린 패널 적용 가능
SPECIFICATION