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EFEM
Atmospheric Robot
Transfer Module
Vacuum Robot
Dual Arm Robot
Dual SCARA Robot
PLP SCARA Robot
FEATURES
⊙
5축 SCARA타입 로봇.
⊙
듀얼 핸즈.
⊙
시간당 300개 이상의 웨이퍼 처리
⊙
진공 또는 엣지 그립 유형의 핸드
SPECIFICATION