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Display
EFEM
Atmospheric Robot
Transfer Module
Vacuum Robot
Cluster Type
Twin Type
FEATURES
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높은 처리량: 빠른 스왑 시간
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고객 맞춤형 시스템 : 스택 로드락, 배치 로드락, 히터 유닛, 냉각 유닛
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AWC 기능
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신뢰성 및 손쉬운 유지보수
SPECIFICATION
TM & LL FEATURES
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로드락 : 스택 로드락
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로우 스택 : 히터 유닛
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하이 및 로우 스택, 냉각 장치
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진공, 가스관 및 I/O 박스
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손쉬운 유지보수 & 청정 시스템