FEATURES
SPECIFICATION
⊙ 8세대 클러스터 툴
⊙ 높은 온도 대응
⊙ 모터 토크 및 온도 모니터링 가능
⊙ 암의 링크 메커니즘을 통한 높은 강성
⊙ 진공 환경에서 벨트 구동력을 제거하여 가스 배출량이 낮음
⊙ 기판 감지 센서 내부 배선 가능
⊙ 진공 환경에서 모든 드라이브에 마크네틱 씰 사용
⊙ 높은 온도 대응
⊙ 모터 토크 및 온도 모니터링 가능
⊙ 암의 링크 메커니즘을 통한 높은 강성
⊙ 진공 환경에서 벨트 구동력을 제거하여 가스 배출량이 낮음
⊙ 기판 감지 센서 내부 배선 가능
⊙ 진공 환경에서 모든 드라이브에 마크네틱 씰 사용